《微細加工研究所》へようこそ

所長の湯之上隆(ゆのがみたかし)です。
 
半導体技術者と社会科学者の二つの経験を生かして、新聞や雑誌記事の執筆とコンサルタントを行っています。
 
半導体では、微細加工技術者として、16年間に渡り、研究、開発、量産、合弁会社、コンソーシアムのすべての組織に所属しました。
 
その後、5年間は大学で、技術者の視点から、半導体産業の社会科学研究を行いました。
 
趣味は、潜水回数2000本を超えるスクーバダイビング(インストラクター)と2013年から始めたヨガです。

 
  

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Facebookより抜粋

 NEW !!  【2018年9月20日】 EE Times Japan

 
 ドライエッチング装置市場が露光装置を抜いて第1位になり、2017年に市場規模が107億ドルを超えました。また、マルチパターニングによって、10~7nmなど、ArF液浸の解像限界38nm以降の微細化が実現しています。つまり、微細化への貢献でも、装置の市場規模でも、ドライエッチング技術が主役に躍り出てきました。

 では、ドライエッチング技術を発明したのは、一体、誰なのでしょうか? EE Times Japanのコラム「湯之上隆のナノフォーカス」では、6回連載で、誰がいつドライエッチング技術を発明したのか? その普及の際にどんな問題があり、それを誰が解決したのか? 現在のドライエッチング技術に立ちはだかっている壁は何か?などについて、詳述します。 第1回目では、ドライエッチングの正しい定義と、その原理について解説します。


 特許と論文を頼りに半年程かけて調べたドライエッチング技術のイノベーション史は、専門家の間でもほとんど知られていない奥深いものでした。私の常識も大きく覆されるような史実がたくさんありました。


【2018年9月15日】 メルマガ

 
 今回のメルマガのテーマは、「MEMSとは何か?」です。
 
 MEMSとは、微小な電気的機械的システムの略です。MEMSとLSIは一見似ていますが、本質は随分違います。
 
 例えば、MEMSではウエットエッチングで異方的な孔や溝の加工を実現しています。また、LSIでは、設計、ウエハプロセス、パッケージング、テストが標準化され、独立していますが、MEMSでは、これらすべてを最適化しなければなりません。しかも多品種少量生産であり、一つひとつの品種ごとに、専用の設計、プロセス、パッケージ、テストを開発する必要があります。
 
 したがって、「MEMSのボトルネックは開発」です。
 
 このようなMEMSはIoT時代の到来により、世界市場規模が年率13%で成長しています。
 
 材料や部材メーカーがMEMSでビジネスを獲得するにはどうすれば良いかを詳述しました。最後に、1~3mmの水晶を使って、水素や微量水分を検出することができる「ボールセンサ」を紹介しました。


【2018年9月8日】 日本ビジネスプレス

 
 北海道で震度7の大地震が起き、道内全域が停電しました。北海道の方々はさぞや不便な生活を強いられていると思いますが、改めて電気の重要性を認識する次第です。
 
 今回の日本ビジネスプレスでは、半導体の製造にどれだけ電力が使われているか、またデータセンタのサーバーがどれだけ電力を消費しているかを見積もりました。その結果、東京五輪が開催される2020年に、半導体製造に約1.5兆kWh、データセンタに約2兆kWhの電力量を使うであろうことが分かりました。
 
 合計で3.5兆kWhになりますが、これは日本の総発電量の3.5倍、世界の総電力量の11.5%に相当します。そして、これは通過点に過ぎず、この電力量はその後も増大します。
 
 もしかしたら、半導体製造やビッグデータの利用は、電力がボトルネックとなって成長が止まるかもしれません。という記事を書きました。