《微細加工研究所》へようこそ

所長の湯之上隆(ゆのがみたかし)です。
 
半導体技術者と社会科学者の二つの経験を生かして、新聞や雑誌記事の執筆とコンサルタントを行っています。
 
半導体では、微細加工技術者として、16年間に渡り、研究、開発、量産、合弁会社、コンソーシアムのすべての組織に所属しました。
 
その後、5年間は大学で、技術者の視点から、半導体産業の社会科学研究を行いました。
 
趣味は、潜水回数2000本を超えるスクーバダイビング(インストラクター)と2013年から始めたヨガです。

 
  

What's New

新着情報

今週のお知らせ

Facebookより抜粋

 NEW !!  【2019年11月11日】 ビジネスジャーナル

 
 2019年に、最先端露光装置EUVを、TSMCが18台、サムスンが8台、インテルが4台導入する見込みである。どうやら、2019年はEUV元年になりそうな気配である。
 
 TSMCは、昨年、月産6万枚のEUVキャパにウエハを流し、それらすべてをスクラップにしたという。つまり、新しい露光装置を使いこなすには、相当な練習が必要であるということだ。
 
 そういえば、i線からKrFに切り替わるのにも5年以上を要した記憶がある。
 
 TSMCは相当な時間と物量をつぎ込んでEUVを使いこなそうとしているが、サムスンとインテルは、十分な練習ができているとは思えない。EUVの量産適用は、まずTSMCが先陣を切り、数年遅れてサムスンとインテルが続く、という構図になりそうだ。


 NEW !!  【2019年11月11日】 メルマガ

 
 メルマガ『スクリーンは洗浄装置シェア1位の座を守れるか?』を配信しました。
 
 本メルマガは、11月1日のJBPRESSの記事『半導体・枚葉式洗浄装置市場、凄まじい韓国勢の成長』の続報です。
 
 枚葉式とバッチ式の2種類の洗浄装置について、地域ごとに、企業別の出荷台数およびそのシェアを調べてみたところ、韓国市場では、韓国のSEMESが2位スクリーンやTEL等の8倍以上もの枚葉式洗浄装置を出荷していることに度肝を抜かれました。さらに、バッチ式でも、韓国KC Techがスクリーンを抜いて出荷台数で1位に躍り出ていることが分かりました。
 
 枚葉式とバッチ式の世界合計の出荷額シェアでは、まだスクリーンが1位ですが、その背後にSEMESがヒタヒタと近づいてきています。洗浄装置市場で、そう遠くない日に下剋上が起きようとしています。


メールマガジン 内側から見た「半導体村」 今まで書けなかった業界秘話

 

【2019年11月7日】 講演の予定と実績

 
 講演の予定と実績を更新しました。


【2019年11月5日】 Japan Business Press

 
 500~1000ステップ以上にもなる半導体の製造工程においては、洗浄工程が30~40%を占める。
 
 その洗浄装置は2009年を境にして、1度にウエハ25~50枚を処理するバッチ式に代わって、1枚ずつウエハを処理する枚葉式が主役になった。
 
 その枚葉式洗浄装置の企業別出荷額シェアで、1位のスクリーンに韓国のSEMESが肉薄している。そして、出荷台数では、既にスクリーンを抜いて、SEMESがトップに躍進している。
 
 メモリ不況が明けて、サムスン電子が大規模投資を開始すると、サムスン電子傘下のSEMESの出荷台数はさらに増大し、出荷額シェアでもスクリーンを抜き去る可能性が高い。日本が強かった洗浄装置分野の牙城を、韓国に切り崩されることになる。ということを記事にしました。


【2019年10月19日】 EE Times Japan 

 
 最近の半導体プロセス技術者は、実験を行う場合、オフィスのPCからリモートでロットを装置に仕掛け、やはりPCからリモートでプロセス条件を振ってドライエッチングなどを行い、さらにその断面SEM観察も、PCから指示を出して、SEM専門の部署の人たちに観察を依頼するのだそうだ。
 
 要するに、半導体プロセス開発のすべてがオフォスの机上のPCからリモートで行えるというのである。正直言って「ぶったまげた!」。

 
 しかし、それで本当のプロセス技術を開発できるのだろうか?
 
 現在、TELやLamから装置を買えば基本プロセスがもれなくついてくる。そして、パラメータを振った実験をリモートで行って「これ以上はできない」と済ませているのではないだろうか? それは、まるで”TVゲーム”のようだ。

 やはり、半導体プロセス技術者は、自分が担当する装置を一度はいじくり倒し、改善・改造を行って、装置の本質を身を持って掴んでおく必要があるのではないか? その上で、リモートを活用して効率的にプロセス開発を行えばよいと思う。

 
 ”TVゲーム”の域を出ないようでは、本当のプロセス開発はできないと思うのだが、それは年寄りの戯言なのだろうか?